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含氟電子氣分析用氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進樣量。